Luxet InGaAs 100
Luxet InGaAs 100
詳細介紹
全自動運動系統
不同倍率的顯微鏡頭：1.35X(Macrolens)、5X、20X、50X、100X
提供鎖相測量模式
應用場景：
P-N 接面漏電 / 崩潰
開路 / 短路誤動作電晶體
閂鎖效應 (Latch-up)
閘極氧化層漏電
細絲殘留多晶矽
矽基底損害
詳細介紹：
LUXET InGaAs 100 是一款微光顯微成像系統。配備了全自動運動系統、深度制冷型 InGaAs 相機、不同倍率的顯微鏡頭以及鎖相測量模式，可以適用於半導體器件的失效點定位。