特色與優勢
電壓範圍大，能兼顧不同尺度的檢測需求，最低電壓更低，能掃描的輕質物質效果越好。
平板偵測器成像效率高，擷取視野大，可實現大樣品到高分辨的跨尺度掃描。
三英的3502E系列可掃描300mm的樣品。
三英開放式射線管無壽命限制，更換燈絲即可；封閉式，一旦真空出問題、燈絲或者靶用盡，需要直接整體更換，成本巨大，停機時間長。
三英大視野偵測器轉換效率高，能偵測跨尺度的樣品，而光耦偵測器只能偵測小樣品，測試效率低。
三英支持孔隙的閾值分割，並建立球棒模型，評估缺陷形態和連通性，該技術是通過掃描及三維重構，將樣品內部特徵結構進行數字化建模，並基於該模型給出球棒的幾何統計參數，如球的直徑、棒的長度、配位數等信息，支持數據導出和統計。
在保持亞微米級解析度情況下樣品快速掃描成像在3分鐘內完成。
三英設備具備螺旋掃描模式，可將樣品一次掃描。